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什么是精密五金蚀刻的干式蚀刻技术?

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什么是精密五金蚀刻的干式蚀刻技术?

发布日期:2020-06-29 00:00 来源: 点击:

 精密五金蚀刻就是利用合适的化学溶液腐蚀去除材质上未被光阻覆盖(感光膜)的部分,达到一定的雕刻深度。那么什么是精密五金蚀刻中的干式蚀刻呢?

  精密五金蚀刻中的干式蚀刻(又称为电浆蚀刻)是目前较常用的蚀刻方式,其以气体作为主要的蚀刻媒介,并藉由电浆能量来驱动反应。在半导体的制程中,蚀刻被用来将某种材质自晶圆表面上移除。

    

精密五金蚀刻

  电浆对蚀刻制程有物理性与化学性两方面的影响。首先,电浆会将蚀刻气体分子分解,产生能够快速蚀去材料的高活性分子。此外,电浆也会把这些化学成份离子化,使其带有电荷。

  基本上,随着所欲去除的材质与所使用的蚀刻化学物质之不同,蚀刻由下列两种模式单独或混会进行:

  1. 电浆内部所产生的活性反应离子与自由基在撞击晶圆表面后,将与某特定成份之表面材质起化学反应而使之气化。如此即可将表面材质移出晶圆表面,并透过抽气动作将其排出。

  2. 电浆离子可因加速而具有足够的动能来扯断薄膜的化学键,进而将晶圆表面材质分子一个个的打击或溅击出来。


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